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MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化

在现代微机电系统（MEMS）技术中，MEMS热电堆芯片的应用日益广泛。这种芯片能够将热能转化为电信号，从而实现温度检测和热成像等功能。为了浏览全文>>

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